L'image est pour référence seulement, référez-vouz à l'information sur le produit pour tous les détails.
Avec une gamme de 0.25 à 10 SLM et un raccord à compression de 6.3 mm (1/4"), ce régulateur de débit massique de gaz est utilisé pour le contrôle du débit de gaz de procédé et le traitement des semi-conducteurs.
Avec une gamme de 0.25 à 10 SLM et un raccord à compression de 6.3 mm (1/4"), ce régulateur de débit massique de gaz est utilisé pour le contrôle du débit de gaz de procédé et le traitement des semi-conducteurs.
Les régulateurs de débit massique de gaz électroniques de la Série FMA5400 A/5500 A peuvent réguler le débit d'une grande variété de gaz de 10 SCCM jusqu'à 100 SLM. Utilisant le transfert de chaleur à travers un tube chauffé, le FMA5400 A/5500 A mesure le débit massique de gaz directement, sans avoir besoin de compenser les variations de température ou de pression du gaz (dans les limites indiquées). Les régulateurs de débit massique FMA5400 A/5500 A sont dotés d'une vanne électromagnétique intégrée pour maintenir un débit constant quelles que soient les variations des pressions d'entrée ou de sortie.
Caractéristiques
Applications
| Série | Série FMA5400 A/FMA5500 A |
| Type | régulateur de débit massique de gaz |
| Configuration | 0.25 SLM à 10 SLM |
| Configuration | Raccord à compression 6.3 mm (1/4") |
| Précision | Pour les unités avec une gamme complète inférieure à 100 SLM ±1% FS, incluant la linéarité sur 15 à 25°C (59 à 77°F) et 10 à 60 psia (0.7 à 4.2 kg (9.26 lbs)/cm2). Pour les unités ≥ 100 SLM pleine gamme: ±1.5% FS, incluant la linéarité sur 15 à 25°C (59 à 77°F) et 10 à 60 psia (0.7 à 4.2 kg (9.26 lbs)/cm2) de 20 à 100% de la gamme; ±3% FS de 0 à 20% de la gamme |
| Répétabilité | ±0.5% de la pleine échelle |
| Coefficient de température | 0.15% FS/°C |
| Coefficient de pression | 0.01% FS par psi (0.07 bar) |
| Chute de pression maximale | 50 psid (3.45 bar) |
| Temps de réponse | 5 secondes à ±2% près du débit de consigne sur 25 à 100% de la pleine échelle |
| Pression de gaz maximale | 500 psig (35 kg/cm2 manométrique); 1000 psig (70 kg/cm2 manométrique) pour les gammes jusqu'à 100 SLPM |
| Température du gaz et ambiante | 5 à 50°C (41 à 122°F) |
| Intégrité d'étanchéité | 1 x 10-7 cc/sec d'hélium maximum vers l'environnement extérieur |
| Matériaux en contact avec le fluide, modèles en aluminium | Aluminium anodisé, acier inoxydable 316, laiton et joints toriques en FKM |
| Matériaux en contact avec le fluide, modèles en acier inoxydable | Acier inoxydable 316 et joints toriques en FKM |
| Signal de sortie | Linéaire 0 à 5 V CC: charge minimale de 1000 V; 4 à 20 mA: résistance de boucle de 50 à 500 V, bruit maximal de ±20 mV |
| Alimentation du transducteur | Alimentation 12 à 15 V CC @ 800 mA maximum (tailles 43, 44 et 45 UNIQUEMENT) |
| Rapport de réglage | 40:1 |
| Exigences d'alimentation | Alimentation 12 à 26 V CC @ 800 mA maximum |
| Humidité relative du gaz | 0 à 70% HR |
| Gamme de débit | 10 SCCM jusqu'à 100 SLM |
| Conformité | EN55011 classe 1, classe B; EN50082-1 |
| Sensibilité à l'altitude | Avec un trajet de débit horizontal, aucun décalage de l'étalonnage jusqu'à un tangage de 20 degrés |
| Étalonnage | Traçable au NIST; étalonné pour l'azote (autres étalonnages de gaz disponibles sur commande spéciale); effectué à des températures ambiantes seulement, 20°C (68°F) |
| Raccords | Raccords à compression standard; les modèles de classe 5543/5445 (200/500/1000 SLM) sont livrés avec des raccords 3/4 FNPT au lieu des raccords à compression |
| Chute de pression, jusqu'à 9 SLM | 1.1 psid (0.08 bar) |
| Chute de pression, 10 à 30 SLM | 3.9 psid (0.27 bar) |
| Chute de pression, 50 SLM | 8 psid (0.55 bar) |
| Chute de pression, 60 à 100 SLM | 18.9 psid (1.3 bar) |
| Gamme de débit max (à la commande) | 10 SCCM, 20 SCCM, 50 SCCM, 100 SCCM, 200 SCCM, 500 SCCM, 1 SLM, 2 SLM, 5 SLM, 10 SLM, 15 SLM, 20 SLM, 30 SLM, 40 SLM, 50 SLM, 60 SLM, 80 SLM, 100 SLM, 200 SLM, 500 SLM, 1000 SLM |
| Poids d'expédition | 1.8 kg (4 lbs) |
| Série | Série FMA5400 A/FMA5500 A |
| Type | régulateur de débit massique de gaz |
| Configuration | 0.25 SLM à 10 SLM |
| Configuration | Raccord à compression 6.3 mm (1/4") |
| Précision | Pour les unités avec une gamme complète inférieure à 100 SLM ±1% FS, incluant la linéarité sur 15 à 25°C (59 à 77°F) et 10 à 60 psia (0.7 à 4.2 kg (9.26 lbs)/cm2). Pour les unités ≥ 100 SLM pleine gamme: ±1.5% FS, incluant la linéarité sur 15 à 25°C (59 à 77°F) et 10 à 60 psia (0.7 à 4.2 kg (9.26 lbs)/cm2) de 20 à 100% de la gamme; ±3% FS de 0 à 20% de la gamme |
| Répétabilité | ±0.5% de la pleine échelle |
| Coefficient de température | 0.15% FS/°C |
| Coefficient de pression | 0.01% FS par psi (0.07 bar) |
| Chute de pression maximale | 50 psid (3.45 bar) |
| Temps de réponse | 5 secondes à ±2% près du débit de consigne sur 25 à 100% de la pleine échelle |
| Pression de gaz maximale | 500 psig (35 kg/cm2 manométrique); 1000 psig (70 kg/cm2 manométrique) pour les gammes jusqu'à 100 SLPM |
| Température du gaz et ambiante | 5 à 50°C (41 à 122°F) |
| Intégrité d'étanchéité | 1 x 10-7 cc/sec d'hélium maximum vers l'environnement extérieur |
| Matériaux en contact avec le fluide, modèles en aluminium | Aluminium anodisé, acier inoxydable 316, laiton et joints toriques en FKM |
| Matériaux en contact avec le fluide, modèles en acier inoxydable | Acier inoxydable 316 et joints toriques en FKM |
| Signal de sortie | Linéaire 0 à 5 V CC: charge minimale de 1000 V; 4 à 20 mA: résistance de boucle de 50 à 500 V, bruit maximal de ±20 mV |
| Alimentation du transducteur | Alimentation 12 à 15 V CC @ 800 mA maximum (tailles 43, 44 et 45 UNIQUEMENT) |
| Rapport de réglage | 40:1 |
| Exigences d'alimentation | Alimentation 12 à 26 V CC @ 800 mA maximum |
| Humidité relative du gaz | 0 à 70% HR |
| Gamme de débit | 10 SCCM jusqu'à 100 SLM |
| Conformité | EN55011 classe 1, classe B; EN50082-1 |
| Sensibilité à l'altitude | Avec un trajet de débit horizontal, aucun décalage de l'étalonnage jusqu'à un tangage de 20 degrés |
| Étalonnage | Traçable au NIST; étalonné pour l'azote (autres étalonnages de gaz disponibles sur commande spéciale); effectué à des températures ambiantes seulement, 20°C (68°F) |
| Raccords | Raccords à compression standard; les modèles de classe 5543/5445 (200/500/1000 SLM) sont livrés avec des raccords 3/4 FNPT au lieu des raccords à compression |
| Chute de pression, jusqu'à 9 SLM | 1.1 psid (0.08 bar) |
| Chute de pression, 10 à 30 SLM | 3.9 psid (0.27 bar) |
| Chute de pression, 50 SLM | 8 psid (0.55 bar) |
| Chute de pression, 60 à 100 SLM | 18.9 psid (1.3 bar) |
| Gamme de débit max (à la commande) | 10 SCCM, 20 SCCM, 50 SCCM, 100 SCCM, 200 SCCM, 500 SCCM, 1 SLM, 2 SLM, 5 SLM, 10 SLM, 15 SLM, 20 SLM, 30 SLM, 40 SLM, 50 SLM, 60 SLM, 80 SLM, 100 SLM, 200 SLM, 500 SLM, 1000 SLM |
| Poids d'expédition | 1.8 kg (4 lbs) |
